本仪器由电器控制箱、物镜光轴对物镜螺纹轴线之同轴度检测器、光电传感测头、远心物镜、对中基准物镜、定标基准物镜十字分划基准目镜及照度计八大部分组成。
①电器控制箱：把传感器送来的信号作高保真放大、处理，通过指示式表头精确地用数字显示被测量值（达gm级精度）。
②物镜光轴对物镜螺纹轴线之同轴度检测器：有一精度较高的旋转主轴。主轴上部设有专用光电传感器，与电器控制箱配合，可测出显微镜光轴对物镜螺纹轴线之同轴度。
③光电传感测头：是通用测头，内有光电接收器件，把光电信号转换成电信号。光电传感测头与电器控制箱配合可测物镜转换器定位误差、物镜转换后像面中心偏移、棱镜镜筒在360°旋转时目镜焦平面上像中心位移及粗微动滑板移动方向与仪器光轴平行度偏差共4项（最后一项还需加上与远心物镜配合）。
④远心物镜：用于测定粗微动滑板移动方向与仪器光轴平行度偏差和聚光镜滑板移动方向与仪器光轴平行度偏差。这两项均为动态测量。为消除因离焦给测量带来的变值系统误差，必须采用远心光路。
⑤对中基准物镜：与十字分划基准目镜结合。校正小孔标本板的像中心与光电传感测头的中心重合。
⑥定标基准物镜：调节光强度使之与表头刻度值匹配。
⑦十字分划基准目镜：与对中基准物镜结合。校正小孔标本板的像中心与光电传感测头的中心重合。
⑧照度计：校正光强度使之与刻度值匹配。